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中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
地址：河北省邯郸市肥乡区化工工业聚集区纬五路1号
电话：0310-7182720
邮箱：pericsg@0769cf.net

六氟乙烷

化学式：C2F6

纯度规格：5N

用途：清洗、、、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、、、光纤

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八氟丙烷

化学式：C3F8

纯度规格：5N5

用途：清洗、、、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

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六氟丁二烯

化学式：C4F6

纯度规格：4N

用途：刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

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氘气

化学式：D2

纯度规格：5N

用途：热处理、、、光纤抗老化处理

主要应用领域：集成电路（LOGIC/3D NAND）、、、、光纤

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六氟化钨

化学式：WF6

纯度规格：6N

用途：沉积

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

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氦氮混气、、氙氢混气、、、氧氦混气、、氪氖混气、、、、氩氙氖混气等

纯度规格：6N

用途：刻蚀、、、退火、、、光刻等

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、、、、显示面板、、、光纤

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氯化氢

化学式：HCl

纯度规格：5N

用途：清洗、、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

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四氟化硅

化学式：SiF4

纯度规格：5N

用途：沉积

主要应用领域：集成电路（LOGIC）、、、、光纤

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八氟环丁烷

化学式：C4F8

纯度规格：5N

用途：清洗、、、、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

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氟化氢

化学式：HF

纯度规格：5N

用途：清洗、、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）

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三氟化氮

化学式：NF3

纯度规格：5N

主要用途：清洗、、刻蚀

主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、、、 显示面板

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