六氟丁二烯
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    六氟丁二烯

    化学式:C4F6

    纯度规格:4N

    用途:刻蚀

    主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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    产品详情

    六氟丁二烯主要应用于大规模集成电路先进制程的刻蚀工艺,,,与传统刻蚀气体相比,,,,六氟丁二烯刻蚀速率更快、、选择性和深宽比更高、、、环境更友好,,,在先进制程中应用前景广阔,,,公司生产的六氟丁二烯产品纯度达4N,,产品已进入客户验证阶段。。。

    以品质为基石,,开拓全球市场

    目前,,,,乐友公司拥有单条年产能超过3000吨的高纯三氟化氮气体生产线,,,拥有高纯六氟化钨规模化生产线,,,拥有三氟甲磺酸系列产品研发生产基地,,建设了高纯钨制品中试生产线,,实现了企业大宗制气的技术突破,,,,已成为国内特气行业产品系列丰富、、、生产能力大、、、市场覆盖面和占有率高、、、、持续创新能力强的企业。。。

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    公司主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、、、生产和销售,,,主要产品包括高纯三氟化氮、、、高纯六氟化钨、、、、高纯氯化氢、、、、高纯氟化氢、、高纯四氟化硅、、、高纯氘气、、、高纯六氟丁二烯、、高纯八氟环丁烷、、高纯电子混合气等电子特种气体,,以及三氟甲磺酸、、、三氟甲磺酸酐、、双(三氟甲磺酰)亚胺锂等含氟新材料。。。


    三氟化氮

    化学式:NF3

    纯度规格:5N

    主要用途:清洗、、、、刻蚀

    主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)、、 显示面板


    六氟化钨

    化学式:WF6

    纯度规格:6N

    用途:沉积

    主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)


    氯化氢

    化学式:HCl

    纯度规格:5N

    用途:清洗、、、、刻蚀

    主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)


    氟化氢

    化学式:HF

    纯度规格:5N

    用途:清洗、、刻蚀

    主要应用领域:集成电路(LOGIC/DRAM/3D NAND)

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