电子特种气体广泛应用于集成电路、、、、显示面板等行业中光刻、、
、刻蚀、、
、
、成膜、、清洗、
、、掺杂
、、、沉积等工艺环节，，对于纯度、、稳定性、、、包装容器等具有较高的要求。。。电子特种气体生产涉及合成、、、、纯化
、、分析检测、
、、
、充装等多项工艺技术，，具有较高技术壁垒。。

电子特种气体是集成电路、、、显示面板、、、、半导体照明、、、、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料，，，是集成电路制造的第二大制造材料，，仅次于硅片，，，占晶圆制造成本的 13%。
。电子特种气体广泛应用于光刻、、刻蚀
、、、成膜、、、清洗
、、、掺杂
、、沉积等工艺环节，
，，对于纯度、、稳定性、
、、、包装容器等具有较高的要求。
。。电子特种气体生产涉及合成、、纯化、
、分析检测、、充装等多项工艺技术
，，具有较高技术壁垒。。。。

集成电路
、、、
、显示面板、、、光伏等行业所用电子特种气体数量超过100种，，，，国内主要生产企业为中船特气
、、华特气体、、南大光电等。
。
。国内电子特种气体企业整体发展时间较短，
，在产品种类、、、、工艺水平
、、、
、综合服务能力等方面依然与林德、、、液化空气
、、大阳日酸和空气化工等国际巨头有差距，，
，，而且这种差距需要一定时间完成创新迭代。。由于半导体产线上原材料纯度和杂质含量（ppm级甚至ppb级）细小的偏差可能造成整条产线的损失，，，客户的试错成本很高
，，，，加大了国内企业进入新产品、、
、、新市场的难度。
。。
。

电子特种气体作为关键性电子材料，，近年来得到国家产业政策的大力支持
。。
。国家发改委
、、科技部、、
、工信部、、、财政部、、、国家税务总局等部门相继出台一系列产业支持政策
，，，，有力推动了电子特种气体产业的发展。。国内气体企业纷纷加大研发投入，，，
，不断突破技术难关，，逐步实现电子特种气体产品的国产替代。。。